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精密洗凈技術
精密洗凈技術
為應對不斷提升的半導體制程要求,依托美國、日本等技術支持,成功完成陶瓷溶射工藝的研發并量產,擁有國際先進的洗凈生產線,努力搶占半導體、TFT產業技術制高點。
技術發展路線 技術設備能力 生產工藝 實用新型國家專利
  • 2000

    表面處理事業部成立

  • 2001

    成功研發并量產350nm線寬半導體PVD、CVD制程部品洗凈工藝并著手研發半導體ETC部門部品洗凈工藝

  • 2003

    成功研發并量產250nm線寬半導體PVD、CVD、ETC制程部品洗凈工藝;建立獨立實驗室,研發半導體更精進洗凈工藝

    著手研發DIF、LIT部門制程部品洗凈工藝

  • 2005

    開始涉足TFT部品洗凈,成功完成半導體各部門機臺部品洗凈工藝并標準化

  • 2007

    為多家半導體及TFT廠提供部品清洗服,完善TFT制程部品洗凈工藝

  • 2011

    成立第一家子公司-----天津富樂德科技發展有限公司

  • 2013

    成功量產45nm線寬半導體制程部品洗凈技術,成功量產8.5代線TFT部品清洗技術

  • 2015

    成立第二家子公司----四川富樂德科技發展有限公司,成功研發并量產28nm線寬半導體制程部品洗凈技術

  • 2017

    第三家子公司----富樂德科技發展(大連)有限公司正式投入生產,研發并量產10.5代LCD部品洗凈工藝;完善陶瓷溶射工藝并實現量產

    著手研發6代OLED制程部品洗凈工藝,著手研發半導體16nm制程部品洗凈工藝

  • 2018

    富樂德(大連)建立大連工廠表面處理分析實驗室雛形,投入超聲波斷層掃描顯微鏡,CMM,He detector,電位滴定儀,LPC及ICP MS等高科技設

    并建立高純石英線,高端設備上線

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